Oksidasi elektrolitik plasma (PEO) adalah salah satu dari beberapa proses yang melapisi permukaan benda logam dengan lapisan keramik pelindung. Bahan yang dapat diperlakukan dengan cara ini termasuk logam seperti aluminium dan magnesium, dan lapisan keramik biasanya oksida. Proses ini memiliki kemiripan dengan anodisasi tetapi menggunakan potensi listrik yang jauh lebih tinggi, yang dapat menyebabkan pembentukan pelepasan plasma. Hal ini cenderung menciptakan suhu dan tekanan yang sangat tinggi di sepanjang permukaan benda kerja, yang dapat menghasilkan lapisan keramik yang agak lebih tebal daripada kemampuan anodisasi tradisional. Lapisan pelindung yang dibuat oleh oksidasi elektrolitik plasma dapat memberikan manfaat seperti ketahanan terhadap korosi dan keausan.
Eksperimen pertama dengan oksidasi elektrolitik plasma terjadi pada 1950-an dan berbagai teknik telah dikembangkan dan disempurnakan sejak saat itu. Setiap teknik PEO bekerja dengan prinsip dasar yang sama, yaitu bahwa logam tertentu dapat diinduksi untuk membentuk lapisan oksida pelindung dalam kondisi yang benar. Banyak logam secara alami akan membentuk lapisan oksida dengan adanya oksigen, tetapi biasanya tidak terlalu tebal. Untuk meningkatkan ketebalan lapisan oksida, anodizing dan teknik lainnya harus digunakan.
Pada tingkat yang paling dasar, oksidasi elektrolitik plasma memiliki kemiripan dengan anodisasi tradisional. Benda kerja logam diturunkan ke dalam bak elektrolit dan dihubungkan ke sumber listrik. Dalam kebanyakan kasus benda kerja logam akan berfungsi sebagai satu elektroda, sedangkan tong yang berisi elektrolit adalah yang lain. Listrik diterapkan ke elektroda, yang menyebabkan hidrogen dan oksigen dilepaskan dari larutan elektrolit. Saat oksigen dilepaskan, ia bereaksi dengan logam dan membentuk lapisan oksida.
Anodisasi tradisional menggunakan sekitar 15 hingga 20 volt untuk menumbuhkan lapisan oksida pada benda kerja logam, sementara sebagian besar teknik oksidasi elektrolitik plasma menggunakan pulsa 200 volt atau lebih. Tegangan tinggi ini mampu mengatasi kekuatan dielektrik oksida, yang mengarah pada reaksi plasma yang bergantung pada teknik ini. Reaksi plasma ini dapat menghasilkan suhu sekitar 30,000°F (sekitar 16,000°C), yang diperlukan untuk pembentukan lapisan oksida tebal yang dapat dibentuk oleh proses PEO.
Lapisan oksida yang dapat dibuat melalui proses oksidasi elektrolitik plasma dapat memiliki ketebalan lebih dari beberapa ratus mikrometer (0.0078 inci). Anodisasi juga dapat digunakan untuk membuat lapisan oksida dengan ketebalan hingga sekitar 150 mikrometer (0.0069 inci), meskipun proses tersebut memerlukan larutan asam kuat yang bertentangan dengan elektrolit basa encer yang biasanya digunakan untuk oksidasi elektrolitik plasma. Sifat lapisan PEO juga dapat diubah dengan menambahkan berbagai bahan kimia ke elektrolit atau memvariasikan waktu pulsa tegangan.