Sistem mikro-elektromekanis, atau giroskop MEMS, adalah sirkuit terintegrasi penginderaan inersia yang mengukur sudut dan laju rotasi dalam suatu objek atau sistem. Dapat diprogram untuk aplikasi yang ditargetkan, teknologi ini mengandalkan sumbu penginderaan tiga dimensi, yaitu X (pitch), Y (roll), dan Z (yaw). Perangkat dapat secara akurat melacak gerakan kompleks tanpa dipengaruhi oleh faktor-faktor seperti gravitasi atau medan magnet. Setelah menempati transportasi dan kendaraan, teknologi ini sekarang muncul di sejumlah teknologi konsumen.
Sistem mikro-elektromekanis adalah teknologi yang mengandalkan sirkuit terpadu mikro-fabrikasi. Perangkat ini menggunakan persepsi aktif dan fungsi kontrol untuk melayani dua tujuan: sebagai mikrosensor dan aktuator. Giroskop MEMS cukup sensitif untuk mendeteksi bahkan sedikit putaran, menghilangkan faktor gerakan linier yang diukur dengan akselerometer. Ini berfungsi untuk mengarahkan teknologi ke posisi absolut dalam ruang fisik.
Penginderaan inersia mengacu pada pengukuran berbagai jenis gerakan, termasuk akselerasi, guncangan, dan kemiringan. Banyak perangkat dikembangkan untuk mendekati masalah ini dengan cara khusus mereka sendiri dan sering digabungkan bersama untuk memberikan penginderaan dan pemrosesan dengan efektivitas yang sensitif. Mereka mengisi aplikasi gravitasi tinggi dan gravitasi rendah di seluruh industri.
Beberapa jenis giroskop MEMS ada. Ini termasuk garpu tala, cincin bergetar, pelat piezoelektrik, dan giroskop gelas anggur. Model garpu tala bergantung pada perpindahan resonansi dari bidang osilasi, yang mengirimkan sinyal yang sesuai dengan orientasi. Jenis cincin getar menggunakan rotasi roda untuk mengirim sinyal ke transduser.
Model piezoelektrik mengukur reaksi antara getaran dan gaya Coriolis; ini adalah hubungan inersia dengan rotasi bumi. Resonator gelas anggur mengukur resonansi titik di belahan bumi untuk mendeteksi rotasi. Fungsionalitas komponen giroskop MEMS melayani berbagai teknologi dan industri.
Seringkali dibundel dengan sirkuit terpadu dan akselerometer, perangkat ini menyediakan output digital dan analog. Aplikasi dapat berkisar dari proyek militer skala besar hingga peralatan desktop. Gyro ini ditemukan dalam amunisi berpemandu, dan mengarahkan kapal dan satelit. Dalam produk konsumen, mereka digunakan untuk remote control, mainan, navigasi pribadi, dan stabilisasi gambar di kamera digital. Mereka juga telah digunakan dalam lingkungan medis.
Seiring dengan giroskop MEMS, perangkat MEMS dapat mencakup akselerometer, aktuator, dan kompas. Jenis giroskop lainnya terdiri dari jenis pemintalan, sering dipasang pada gimbal, dan jenis optik yang membaca interaksi panjang gelombang laser. Ditemukan menyeimbangkan apa pun mulai dari perangkat transportasi pribadi hingga model helikopter hingga video game, semua perangkat ini beroperasi pada prinsip dasar yang sama bahwa objek yang bergetar cenderung mempertahankan bidang getarannya meskipun ada pergerakan dukungan.