Pengukur aliran termal dapat berupa berbagai macam perangkat yang dimaksudkan untuk mengukur kecepatan massa saat melewati ruang tertutup, biasanya pipa. Saat massa bergerak melalui ruang tertutup, pengukur aliran termal mendeteksi laju aliran dengan mengukur panas yang ditransfer dari permukaan sensor ke massa yang mengalir. Jenis sensor ini bergantung pada aturan bahwa ketika kecepatan berubah, demikian juga efek massa pada sensor pengukuran.
Sensor dalam meter aliran termal berkali-kali menghasilkan panas menggunakan beberapa sumber listrik eksternal. Saat molekul gas melewati sensor, mereka mengambil sebagian dari panas itu bersama dengan sisa massa di ruang tertutup. Listrik yang dibutuhkan untuk mempertahankan suhu dasar akan mencerminkan aliran massa dari hubungan yang berbanding lurus. Berguna untuk banyak aplikasi, pengukur aliran termal mungkin paling berguna untuk mengukur laju aliran berbagai gas selama operasi ekstraksi.
Meskipun ada banyak konfigurasi yang berbeda untuk meter aliran termal, dua dapat dianggap yang paling penting dan banyak digunakan. Salah satu konfigurasi penting yang dikenal sebagai pengukur aliran termal immersible. Itu bersentuhan langsung dengan massa yang mengalir dan mungkin termasuk dua sensor. Satu sensor mengukur suhu massa dan yang lainnya mencoba mempertahankan suhu konstan. Perbedaan antara kedua sensor menunjukkan sesuatu yang disebut prinsip penginderaan termal, yang berbanding lurus dengan kecepatan aliran massa.
Konfigurasi lain dari pengukur aliran termal adalah desain pipa kapiler. Dalam konfigurasi ini, sensor termal dianggap inline, artinya terhubung langsung ke ruang tertutup. Sensor kemudian mengukur jumlah panas yang dikonveksikan secara keseluruhan ke massa yang mengalir. Sensor tabung kapiler dan immersible bergantung pada prinsip penginderaan termal, yang memiliki akurasi tinggi sehingga dapat diterapkan pada banyak situasi.
Misalnya, pengukur aliran termal dapat membantu dalam penelitian dengan memberikan laju aliran yang tepat untuk berbagai jenis gas. Pengukur aliran juga berpotensi berguna dalam aplikasi industri dan komersial seperti penyimpanan gas dan operasi distribusi. Laju aliran merupakan bagian penting dari banyak operasi yang berhubungan dengan manufaktur, distribusi dan penggunaan gas inert atau mudah terbakar. Pengukur aliran termal juga dapat memberikan data berharga untuk operasi sipil seperti aerasi air limbah atau distribusi gas alam.