Pompa difusi adalah perangkat yang dirancang untuk memompa gas dengan jet uap berkecepatan tinggi sebagai media transportasi. Proses ini terjadi sebagai akibat dari fakta bahwa gas menolak difusi dalam aliran uap dan lebih cenderung untuk bergerak bersamanya. Pompa difusi dicirikan oleh tekanan operasi yang sangat rendah atau, lebih tepatnya, nilai vakum tinggi yang dapat mencapai 10-10 mbar. Uap yang digunakan untuk mengangkut gas biasanya produk dari minyak khusus yang mendidih seperti minyak silikon di bagian pemanas pompa. Ketika diarahkan melalui rakitan nosel pompa, uap berakselerasi secara signifikan dan menarik gas bersamanya melalui titik pembuangan pompa.
Karakteristik gas yang mendasari pengoperasian pompa difusi adalah kecenderungannya untuk tidak berdifusi atau bercampur dengan aliran uap melainkan untuk dipindahkan bersamanya. Ini dapat dilihat dengan jelas di mana uap keluar dari jendela atau cerobong asap. Saat melakukannya, ia menggerakkan kolom udara bersamanya, sehingga menyebabkan sirkulasi udara di ruang angkasa. Meskipun agak sederhana, ini adalah contoh yang baik dari konsep pompa difusi di tempat kerja. Perbedaan utama antara cara kerja pompa dan angin dingin di kamar mandi, bagaimanapun, adalah kecepatan pergerakan uap. Agar pompa difusi mencapai potensi penuhnya, uap yang digunakan sebagai media transportasi dipercepat hingga kecepatan yang sangat tinggi.
Pompa difusi adalah perangkat yang sangat sederhana tanpa bagian yang bergerak; ini membuat mereka sangat tahan lama dan mudah dirawat. Bagian utama pada contoh tipikal terdiri dari bagian pemanas tempat uap diproduksi, saluran masuk gas yang dipompa, serangkaian nozel, dan saluran keluar. Elemen sekunder terdiri dari koil pendingin dan saluran pengembalian oli. Bahan uap dipanaskan sampai titik didih di bagian pemanas dengan uap yang dihasilkan diarahkan ke bagian nosel. Di sana uap berakselerasi sebelum melewati saluran masuk gas yang dipompa di mana ia menarik gas ke saluran keluar.
Di saluran keluar, uap didinginkan dan mengembun kembali menjadi cairan. Gas yang dipercepat kemudian keluar dari bagian dalam pompa di mana ia kembali ke tekanan atmosfer dan dibuang. Minyak hasil kondensasi kemudian mengalir kembali ke bagian pemanas. Bahan uap dalam pompa difusi biasanya minyak berbasis silikon, meskipun merkuri sering digunakan dalam aplikasi laboratorium sensitif di mana kontaminasi minyak tidak diinginkan.