Microfabrication dan micromachining adalah istilah yang menggambarkan teknologi dan proses yang digunakan dalam membuat struktur atau perangkat mikroskopis. Struktur ini dapat berkisar dalam ukuran dari lebar rambut manusia hingga lebih kecil dari satu sel manusia. Kemampuan untuk membuat perangkat sekecil ini telah mendorong kemajuan teknologi di bidang komputer, elektronik konsumen, teknologi energi hijau, dan banyak bidang lainnya. Teknik mikrofabrikasi sangat bervariasi tergantung pada perangkat yang dibuat.
Di bidang mikrofabrikasi, ukuran diukur dalam mikrometer. Mikrometer, sering dikenal sebagai mikron, adalah seperseribu milimeter. Ada 25,400 mikron dalam satu inci. Nanoteknologi adalah bidang yang serupa, tetapi berurusan dengan komponen yang lebih kecil.
Penggunaan bagian mikrofabrikasi dipelopori oleh industri semikonduktor. Penemuan transistor dan sirkuit terpadu pada 1940-an dan 1950-an memunculkan tren miniaturisasi dalam elektronik. Ketika teknik mikrofabrikasi meningkat, sirkuit terintegrasi yang lebih kecil dan lebih kompleks dibangun, memungkinkan microchip yang kuat untuk dibangun.
Semakin banyak industri yang mengandalkan fabrikasi mikro. Mesin kecil yang dikenal sebagai sistem mikro-elektro-mekanis dapat ditemukan di banyak perangkat, termasuk ponsel pintar dan sensor airbag mobil. Sel bahan bakar dan panel surya juga menggunakan komponen mikrofabrikasi. Teknik dan teknologi mikrofabrikasi telah digunakan dalam aplikasi penelitian di bidang mikrobiologi hingga fisika partikel.
Teknik yang digunakan dalam proses mikrofabrikasi tergantung pada industri dan hasil yang diinginkan. Sebagian besar teknik adalah pendekatan top-down, yang berarti bahwa mereka mulai dengan komponen yang lebih besar, seperti wafer silikon, dan menghapusnya sampai struktur akhir dibuat. Contoh teknik top-down yang digunakan pada tingkat mikroskopis termasuk pemotongan, pemolesan dan etsa.
Manufaktur bottom-up di bidang ini sebagian besar merupakan bidang eksperimental. Dalam pendekatan bottom-up, item yang lebih kecil seperti atom atau molekul digunakan untuk membuat sistem atau perangkat yang lebih besar. Teknik bottom-up digunakan dalam aplikasi yang dimaksudkan untuk meniru struktur atau fungsi biologis.
Banyak teknik yang digunakan dalam fabrikasi mikro dipinjam dari disiplin ilmu lain. Bidang fotografi, optik, dan fisika telah berkontribusi pada mikroteknologi. Beberapa teknik manufaktur tradisional, seperti cetakan injeksi, telah diperkecil dan digunakan dalam fabrikasi mikro.
Terlepas dari teknik yang digunakan, fabrikasi pada tingkat mikroskopis menghadirkan tantangan unik. Ukurannya yang kecil berarti satu debu dapat membuat perangkat tidak berguna. Laboratorium mikrofabrikasi adalah ruangan yang dirancang untuk mengontrol partikel di udara seperti debu dan mikroba. Pekerja harus mengenakan pakaian pelindung di dalam ruangan ini untuk mencegah kontaminasi dari bagian mikroskopis yang dibuat.